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Field Guide to Optical Lithography
Field Guide to Optical Lithography

Buch Details

This Field Guide distills the material written by Chris Mack over the past 20 years, including notes from his graduate-level lithography course at the University of Texas at Austin. It details the lithography process, image formation, imaging onto a photoresist, photoresist chemistry, and lithography control and optimization. An introduction to next-generation lithographic technologies is also included, as well as an extensive lithography glossary and a summation of salient equations critical to anyone involved in the lithography industry.
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  • Autor/in SPIE Press
  • ISBN13 9780819462077
  • ISBN10 0819462071
  • Buchseiten 122
  • Jahr der Ausgabe 2026
  • Fecha de publicación 03/05/2026
  • Sprache Deutsch, Französisch
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Field Guide to Optical Lithography (Deutsch, Französisch)

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